今で言うオタク的なメイド服の源流はエプロンドレスだが、それがコスプレの題材になったのは相当に昔のこと。
しかも日本より海外の方が早い。日本にオタクが誕生する遙か以前から、コスプレの題材として愛好されていた。
たとえばアンミラがそのバリエーションだし、日本でも「女給萌え」とでも言うような文化が大正・昭和初期からあった。

エロ漫画とかでも、遅くとも1980年代後半にはコスプレのひとつとして認知されていたように思うが。
エロゲームでは項作が正しくて、「禁断の血族」(93)「殻の中の小鳥」(96)が走りらしい。が、もともとあった需要に合わせて
エロAVGの勃興と同時に湧いて出てきたような印象があり、両者をもって「メイド萌えを作った」と言うのは難しいかも知れない。

洋モノのコスプレに萌えるオタなんぞいなかったよ。

「萌え」の萌芽についても言及しないとお話にならないと思う

バラエティー番組で、秋葉系メイドカフェ紹介しているとき
取材するアイドル女優もコスしているのだが
何故大抵、カフェミュウミュウの服なのかは気になる。